SPDR用于測量包括LTCC襯底在內(nèi)的層狀電介質(zhì)材料的復(fù)介電常數(shù)，也用于沉積在低損耗介質(zhì)襯底上的薄鐵電薄膜。此外，SPDR可用于測量各種導(dǎo)電材料（如商用電阻層，薄導(dǎo)電聚合物膜或高電阻率半導(dǎo)體）的表面電阻和電導(dǎo)率。這種測量僅適用于Rs> 5kΩ/平方的大表面電阻采樣。樣品的最小尺寸取決于諧振器的工作頻率。SPDR適合在-270℃至110℃的溫度下工作。

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