美國Brooks Instruments（布魯克斯）數(shù)字式質(zhì)量流量控制器GF135實時流錯誤檢測
在流量傳感器導(dǎo)致更高的工藝污染堆積比表示實際流量。在這個過程中堆積的污垢限流器的結(jié)果比顯示實際流量低。流程污染上的閥孔或座導(dǎo)致泄漏過去閥。所有這些情況可能導(dǎo)致丟失的晶圓成本數(shù)千人。當(dāng)使用一個標(biāo)準(zhǔn)的MFC，這些錯誤不能無需停止生產(chǎn)運行流程檢查檢測。該GF135擁有正在申請專利的實時流量錯誤檢測和用率衰減的（ROD）技術(shù)，是免疫的趨勢典型的MFC破壞/退化模式，確保準(zhǔn)確，可靠的診斷能力。經(jīng)過基線建立在工具啟動，該GF135可以檢測流量的變化，漂移和泄漏率。
安裝GF135后，一個調(diào)試?yán)虅?chuàng)建一在實際工藝條件下的性能基準(zhǔn)。在晶圓處理過程中，設(shè)備會自動流量誤差檢測在每一個新的過程設(shè)置點的讀數(shù)，并將結(jié)果進行比較基線。專有桿測量技術(shù)暫時停止從工具上游輸送氣體的供給，同時保持在流進處理室所需流量。高精度壓力測量而氣體被從入口容積和一個貧采取先進的信號處理算法計算ROD流速即時的。之前流至處理受減少壓力，上游供應(yīng)重新建立與沒有擾動的交付流程。通過計算在流量在晶片處理期間各種設(shè)定點時，MFC檢測到任何傳感器或旁路堵塞。它還檢測如果傳感器偏移由于堵塞和漂移明顯的影響發(fā)展本身不同在不同的設(shè)定點。同樣的方法是使用時，MFC給出一個零設(shè)定值計算閥門泄漏。這使得MFC測量零點。本MFC可舉報閥門泄漏，傳感器偏移和流過一個偏移量工具記錄接口協(xié)議，以及自動更正本身如果用戶開啟該功能。很后，在MFC將該數(shù)據(jù)存儲為一年可以使用歷史數(shù)據(jù)的變化情況。通過提供流量變化自動監(jiān)控，GF135能夠與晶片的實時警告臂用戶影響流動偏差。

超快響應(yīng)
通過結(jié)合布魯克斯的專利流量傳感器技術(shù)與高速ARM處理器，快速的動膜片免費閥門裝配時，GF系列提供高達3倍的速度響應(yīng)和穩(wěn)定時間相比其他質(zhì)量流量控制器，
實現(xiàn)：
?通過減少非生產(chǎn)性的流動改進晶片的產(chǎn)量解決步驟
?嚴(yán)重腐蝕和3D需要超快分裝置流程500毫秒蝕刻步驟
?減少分流天然氣消費量和相關(guān)的減排成本
?在原子層沉積時間敏感氣體輸送步驟（ALD）
?進程需要一個緩慢的斜坡氣體導(dǎo)通或時間流量與用戶之間的關(guān)鍵過渡可編程的斜坡函數(shù)
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
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