美國Brooks Instruments布魯克斯流量控制器GF100的特征和優(yōu)點(diǎn)
GF100系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器和儀表
高純度的流動路徑。出色的性能，可靠性和可重復(fù)性。
型號GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121
快速響應(yīng)工藝氣體的高和超高水平的，可重復(fù)的遞送純度-這就是GF100系列金屬的密封質(zhì)量流量控制器和儀表提供的性能。設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體，MOCVD等氣體流量控制的應(yīng)用中，GF100系列超過可靠性半導(dǎo)體工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，以確?？芍貜?fù)的，隨著時間的推移表現(xiàn)高度穩(wěn)定。標(biāo)準(zhǔn)MultiFloTM技術(shù)使一個MFC支持?jǐn)?shù)千個氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線移除或犧牲精度。
其結(jié)果是：提高過程的靈活性和效率同行業(yè)的工藝氣體純度很高水平結(jié)合起來，幫助最大限度地提高產(chǎn)量和生產(chǎn)效率。

特征
每年<±0.5％滿量程長期零點(diǎn)穩(wěn)定性
建立時間：700毫秒 - <1秒
滿量程流量可達(dá)300 SLPM
全金屬密封流動路徑：選項(xiàng)4μ或10μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏合金T-上升傳感器提高了在高溫下測量的可重復(fù)性
MultiFloTM氣體和范圍的可編程酮裝置，數(shù)千氣體的類型和范圍的組合而不脫離氣體管線除去MFC或影響精度
本地顯示
可選SDS氣體輸送
DeviceNetTM，RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
優(yōu)點(diǎn)
高性能組件馬拉松測試七次半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的可靠性
全金屬，耐腐蝕流量降低的表面積和體積的未波及路徑，確保在清洗步驟，更快干下來
與MultiFloTM，新工藝氣體和/或范圍可被設(shè)置在在60秒 - 沒有更多的去除和校準(zhǔn)微生物燃料電池
高度可配置平臺使直接替換升級和大多數(shù)品牌的金屬封閉微生物燃料電池，包括前迅捷，Mykrolis公司，Tylan和單位品牌
GF120安全輸送系統(tǒng)（SDS®）是布魯克斯的國家的很先進(jìn)的低壓降質(zhì)量流量控制器子大氣的安全傳輸系統(tǒng)的交付種植和蝕刻工藝中使用（SDS）氣體
方便用戶的顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)口岸艾滋病設(shè)備安裝，監(jiān)控和故障排除
應(yīng)用
半導(dǎo)體蝕刻工具
薄膜的化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD，MOCVD，PECVD，ALD）
物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)
外延工藝系統(tǒng)
上海連航機(jī)電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機(jī)、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，保障全產(chǎn)業(yè)鏈一體化工業(yè)服務(wù)水平，連航分別在德國和美國設(shè)有公司和倉儲中心，自此建立了對歐美先進(jìn)工業(yè)品與工業(yè)技術(shù)大規(guī)模引進(jìn)的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本壓縮，連航擴(kuò)大了在業(yè)內(nèi)的先進(jìn)優(yōu)勢，終端服務(wù)效率與水平與日俱增。
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測量產(chǎn)品。