美國布魯克斯Brooks Instruments熱質量流量控制器GF100產品規(guī)格

微分
高純度/超高純度

標準GF系列

高流量GF系列
性能
流量范圍（滿量程容量）
標準GF系列：3 SCCM - 55 SLM
高流量GF系列：55 SLM - 300 SLM
準確性
±1％S.P.> 35-100％
±0.35％F.S. 2-35％
重復性<±0.15％S.P.
線性度
±0.5％F.S. （包括精度）
響應時間
常閉閥：700毫秒 - <1秒
SDS氣體輸送：<3秒
響應時間
常開閥：<1.5秒（具體型號）
多氣體和范圍可配置MultiFlo?標準（大部分機型）
壓力瞬變不敏感 -
控制范圍
標準GF系列：<3-100％
高流量GF系列：5-100％
箱數
標準GF系列：11箱
高流量GF系列：4箱
閥門關閉
標準GF系列：<2％F.S.
高流量GF系列：<2％F.S. @ 30 N2 PSIG / ATM出
零點穩(wěn)定性<±0.5％F.S.每年
流量溫度系數
跨度：每攝氏度0.05％S.P.
零：0.005％F.S.每攝氏度

機械
密封材料金屬
純度/表面的水平完成4 - 10μ英寸鐳
接液材料
SEMI F20高壓/超高壓兼容
316L VIM / VAR
哈氏合金C-22
316L不銹鋼
304不銹鋼
KM-45
閥選
常閉
常開（僅限特定型號）
計（無閥）
評級
很高溫度50℃
差壓量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID
861-7200 SCCM = 10-45 PSID
7201-55000 SCCM = 15-45 PSID
51 SLM-300 SLM = 30-90 PSID

最大壓力
標準GF系列：500 PSIA最大

高流量GF系列：75 PSIG（控制器），150 PSIG（米）
泄漏完整性1x10-10大氣壓毫升/秒他
診斷和顯示
診斷功能可用

狀態(tài)指示燈
MFC健康

網絡狀態(tài)
警報
控制閥輸出

網絡中斷
診斷/服務端口
通過2.5毫米插孔RS-485（所有型號）

顯示
頂部安裝集成LCD

可視角度：固定
視距：10英尺
單位顯示：流量（％），溫度（℃），壓力（PSIA，千帕）
分辨率：0.1（單位）

電動
模擬通信
0-5伏

數字通信
的DeviceNet?
RS485 L-協(xié)議

電氣連接
模擬/ RS485通過9針“D”連接器的DeviceNet?通過5針“M12”連接器提供各種線纜適配器。有關更多信息，請參見產品數據表。

電源/功耗
模擬/ RS485 l協(xié)議：6瓦最大@±15 VDC（±10％）或+24 VDC（±10％）的DeviceNet?545 mA（最大值）@ + 11-25伏，最大250 mA @ 24伏直流電
（在典型的操作條件下）

合規(guī)
EMC
EC指令2004/108 / EC
CE：EN61326-1：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE測試）

環(huán)境合規(guī)性
RoHS指令（2011/65 / EU）
REACH指令EC 1907/2006
上海連航機電科技有限公司是國內專業(yè)的進口機電產品與技術集成服務商。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進口備品備件，提供過程控制技術咨詢，工業(yè)自動化集成設計與改造，成套設備與技術引進等工業(yè)技術應用及產品供應服務。主要產品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來電咨詢。
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