美國(guó)Brooks Instruments高溫質(zhì)量流量控制器5850EMH特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和儀表
具有挑戰(zhàn)性的高溫應(yīng)用的很高純度的流動(dòng)路徑。
當(dāng)今許多先進(jìn)的電子器件制造工藝的要求非常準(zhǔn)確和高度可重復(fù)的測(cè)量和昂貴的超純氣體和液體前體的控制。布魯克斯儀器符合我們的高溫金屬封閉熱質(zhì)量流量控制器和儀表這些需求。精確的化學(xué)控制是通過(guò)超穩(wěn)定，高精度測(cè)量傳感器，快速精密控制閥和強(qiáng)大的數(shù)字電子產(chǎn)品的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)。工藝化學(xué)純度是由我們的高完整性（漏緊）保證，超高純度，全金屬潤(rùn)濕流路，旨在保持外污染物，如水分和氧氣從破壞工藝介質(zhì)。

主要應(yīng)用領(lǐng)域
光纖制造 - MCVD
硅半導(dǎo)體裝置的制造工序的
CVD（蒸氣形式前驅(qū)體傳輸）
條（水蒸氣）
蝕刻（鈍化水蒸氣）
5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制器
成熟的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。超純性能用于高溫應(yīng)用。
型號(hào)5850EMH / 5851EMH
提供的高溫氣體的測(cè)量和控制的先進(jìn)的性能，布魯克斯儀器的5850EMH系列高溫金屬密封質(zhì)量流量控制器具有多種選項(xiàng)，允許最大的應(yīng)用靈活性結(jié)合了金屬密封件優(yōu)秀泄漏完整性。所述5850EMH系列的心臟是高度穩(wěn)定的傳感器，其提供了與流量的電輸出信號(hào)線性的。這個(gè)信號(hào)用于指示，而不需要一個(gè)自動(dòng)置零電路的記錄和/或控制目的。
特征
高泄漏完整性（小于10-11 Pa.m3 /秒（10-10 atm.cc/s）他）
寬流量范圍（0.003 - 100 SLPM）
高純度的VAR 316L不銹鋼
顆粒無(wú)
氦氣泄漏檢查口
常閉閥（常開(kāi)閥可選）
電致動(dòng)控
低命令流量切除
TTL兼容“閥關(guān)”功能
優(yōu)點(diǎn)
穩(wěn)定，成熟的產(chǎn)品平臺(tái)
高流量能力可達(dá)100 LPM（N2當(dāng)量）
全金屬流動(dòng)路徑增強(qiáng)了氣體純度，并減少泄漏
易于安裝和使用僅限于模擬輸入/輸出服務(wù)
應(yīng)用
光纖制造 - MCVD，OVD，AVD
水蒸氣流控制
美國(guó)Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門(mén)從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測(cè)量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測(cè)量產(chǎn)品。
上海連航機(jī)電科技有限公司是國(guó)內(nèi)專業(yè)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專注于為中國(guó)工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機(jī)、 ABB電容電橋測(cè)試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線性執(zhí)行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來(lái)電咨詢。
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