美國布魯克斯Brooks Instruments流量控制器9861系列特征
9861系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表提高高溫流量控制精度和效率。
型號(hào)9861
專為與冷凝的前體和摻雜劑的輸送溫度較高有關(guān)的具有挑戰(zhàn)性的條件下，9861系列高溫?zé)豳|(zhì)量流量控制器和布魯克斯儀器儀表具有高純度，高泄漏完整性金屬流道，確保了所有工藝氣體和蒸汽的兼容性。專利IsoSensor?是一種高穩(wěn)定性流量傳感器與加熱氣體線路和烘烤系統(tǒng)中升高的環(huán)境溫度兼容。在IsoSensor?的超低漂移性能減少了頻繁的重新歸零和重新校準(zhǔn)在高溫應(yīng)用的典型需求。

特征
超穩(wěn)定專利IsoSensor?流量測(cè)量傳感器
超高純度流路
遠(yuǎn)程電子標(biāo)配兩個(gè)模擬電連接器
數(shù)字化測(cè)量和控制架構(gòu)
優(yōu)點(diǎn)
高穩(wěn)定性傳感器提供卓越的正常運(yùn)行時(shí)間，減少了維護(hù)，降低總擁有成本
濕流路全金屬確保燃?xì)?蒸汽的完整性和純度
包括20針卡邊緣和9或15針“D”連接器實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并降低庫存
增強(qiáng)的精度和工藝控制
應(yīng)用
光纖制造 - MCVD
硅半導(dǎo)體裝置的制造工序的
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測(cè)量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測(cè)量產(chǎn)品。
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