產品介紹
概要
質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質量流量，是利用測量氣體的質量，而質量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導體制造制程有廣泛的使用。
特征
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質量流量控制器。
適用于高溫：可滿足150℃烘焙產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造最適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
規(guī)格參數
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SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器 |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
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SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載 |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
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SEC-8440LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8450LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8455LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8460LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8440LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
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SEC-8450LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
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SEC-8455LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
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SEC-8460LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：35?60℃ |
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SEC-8440LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
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SEC-8450LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
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SEC-8455LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
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SEC-8460LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
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SEC-8440SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
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SEC-8450SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
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SEC-8455SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
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SEC-8460SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：80?100℃ |
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SEC-8440SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
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SEC-8450SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
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SEC-8455SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
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SEC-8460SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
滬公網安備31011302006898號
