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VARIAN干式渦輪泵SH110

  • 品牌:VARIAN
  • 型號(hào):SH110

產(chǎn)品介紹

Agilent Varian SH-110泵擁有先進(jìn)的功能,包括4.0CFM抽速以及5.0×10 -2托的最終壓力。SH-110干式渦旋真空泵的設(shè)計(jì)便于集成到原始設(shè)備制造商(OEM)系統(tǒng)。這種單級(jí)泵為110升/分鐘的泵送速度(60赫茲功率)和50毫托(0.07毫巴)的極限壓力,是最終用戶理想的應(yīng)用程序。SH-110泵符合歐盟指令(CE),加拿大標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)(CSA)和Semi S2-0200的要求。

特點(diǎn):

低溫運(yùn)行

1/4低功耗馬力電機(jī)

內(nèi)置排氣閥,低噪音的生產(chǎn)

排氣口可移動(dòng),在狹小的空間仍具有靈活性,

高壓條件下高抽速,可快速抽氣

低重量,裝有方便的提手

內(nèi)置故障安全隔離閥,保護(hù)真空系統(tǒng)

通用100-230 VAC電源,方便全球安裝

自動(dòng)空氣鎮(zhèn)流器進(jìn)行有效的水分處理

快速密封替換,實(shí)現(xiàn)低成本使用

規(guī)格參數(shù)

泵速峰值:60 Hz,110 L/m, 6.6 m3/hr, 4.0 cfm;

50 Hz,90 L/m, 5.4 m3/hr,3.3 cfm

極限壓力:5.0×10-2托(6.6×10-2毫巴)

最大進(jìn)口壓力:1個(gè)大氣壓

最大出口壓力:1.5個(gè)大氣壓

入口連接:NW25 KF法蘭

排氣連接:1/4-in. female nat’l管螺紋

排氣連接適配器:NW16 KF適配器提供

工作環(huán)境溫度:5至40℃

存儲(chǔ)溫度:-20至60℃

電機(jī)功率:0.25馬力(0.19千瓦)

供電:?jiǎn)蜗啵?0-60赫茲,100-115 / 200-230 VAC

電機(jī)過熱保護(hù):自動(dòng)

轉(zhuǎn)速:1725 RPM, 60赫茲

1425 RPM,50赫茲

冷卻:風(fēng)冷

重量:19.5千克(43磅)

限制:無腐蝕性,爆炸性,或顆粒狀成形氣體

泄漏率(排氣密封):<1×10-7 STD-cc / sec氦氣

 


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