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電子真空調節(jié)器允許通過計算機化指令信號進行真空控制。命令信號先被發(fā)送到一個小型電子調節(jié)器,該調節(jié)器會向圓頂負載式平衡桿真空調節(jié)器 (EVR) 的參考端口產生先導信號,以控制過程壓力。
EVR系列是一種非減壓型真空調節(jié)器,可對真空供應泵和工藝之間的流量進行節(jié)流,以便將工藝真空準確控制到特定的設定值。
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