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SENS4真空傳感器VPM-5

產(chǎn)品介紹

VPM-5 SmartPirani 真空傳感器基于新型技術(shù),具有同類更好的性能,將熱導(dǎo)真空計(jì)的可用真空測(cè)量范圍擴(kuò)大了 1-3 倍,從而確立了新的性能標(biāo)準(zhǔn)。SmartPirani 真空測(cè)量傳感器采用 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器技術(shù),并結(jié)合了 Sens4 自身的新型數(shù)字信號(hào)處理架構(gòu)和創(chuàng)新測(cè)量算法。結(jié)合準(zhǔn)密的自動(dòng)化制造和校準(zhǔn)流程,這款產(chǎn)品可提供無(wú)懈可擊的測(cè)量性能。通過(guò)集成 MEMS 隔膜傳感器,消除了熱導(dǎo)率真空計(jì)在粗真空范圍內(nèi)眾所周知的氣體依賴性,其精度性能可與更昂貴的電容式壓力計(jì)媲美。這一特性可確保對(duì)真空系統(tǒng)排氣過(guò)程進(jìn)行更準(zhǔn)確的控制,并可防止真空系統(tǒng)過(guò)壓。

性能特點(diǎn)

從 1.0E-6 到 1333  mbar,9 個(gè)分度的超寬測(cè)量范圍

性價(jià)比高

氣體獨(dú)立測(cè)量范圍從 2 到 1 333  mbar

通過(guò) USB 編程器輕松配置

0-10 VDC 可編程電壓輸出

數(shù)字 RS-232 或 RS-485 接口

引腳和輸出與其他供應(yīng)商的壓力表兼容

選型指南

可選功能與配件

可選陶瓷或聚對(duì)二甲苯傳感器保護(hù),用于腐蝕性應(yīng)用

可選固態(tài)設(shè)定點(diǎn)繼電器,用于外部控制

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:丹麥

測(cè)量范圍(mbar):1x10-6 至 1333  mbar(7.5x10-7 至 1000 托)

測(cè)量原理 1x10-6 至 1.5 mbar:MEMS Pirani 熱導(dǎo)率

測(cè)量原理 1.5 至 2 mbar:混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shù)

測(cè)量原理 2 至 1333 mbar:MEMS 壓電電阻膜片

精度 1x10-5 至 9.99x10-5:讀數(shù)的 25%

精度 1x10-4 至 7.99 mbar:讀數(shù)的 5%

精度 8.00 至 99.9 mbar:讀數(shù)的 1%

精度 100 至 800 mbar:讀數(shù)的 0.5%

精度 800 至 1099 mbar:讀數(shù)的 0.25%

精度 1100 至 1333  mbar:讀數(shù)的 0.5%

滯后 1x10-3 至 10 mbar (IS019685:2017):1 %

磁滯 10 至 1333 mbar(IS019685:2017):0.1%

模擬輸出分辨率:16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率:124 Hz

響應(yīng)時(shí)間(ISO 19685:2017):<20 ms

溫度補(bǔ)償:+10 至 +50 °C

固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)范圍:5x10-6 至 1333  mbar(3.75x10-6 至 1000 托)

固態(tài)繼電器觸點(diǎn)額定值:50 V、100 mArms / mADc

固態(tài)繼電器認(rèn)證:UL 認(rèn)證: 文件 E76270;CSA 認(rèn)證: 證書 1175739;EN/IEC 60950-1 認(rèn)證

工作環(huán)境溫度:-20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度:-20 至 +50 °C

存儲(chǔ)環(huán)境溫度:-40 至 +120 °C

烘烤溫度(非工作):+120 °C

Max ABS介質(zhì)壓力:10 Bar

安裝位置:任意

防護(hù)等級(jí),EN 60529/A2:2013:IP40

濕度:98%,無(wú)冷凝

電源電壓:12-30 VDC

Max功耗:240 mW

反極性保護(hù):是

過(guò)壓保護(hù):是

內(nèi)部保險(xiǎn)絲:100 mA(可熱恢復(fù))

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

分析儀器、半導(dǎo)體加工、真空爐、薄膜鍍膜、太空模擬和飛行


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