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NUMERIK JENA光柵尺LIK21 vac

產(chǎn)品介紹

LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應(yīng)用。自帶2場EPIFLEX讀數(shù)模塊,也適用于惡劣的應(yīng)用環(huán)境。

性能特點

 

  • 真空版LIK 21,外殼版本1
  • 帶EPIFLEX讀數(shù)模塊(2場掃描)
  • 光柵尺部件滿足真空度達10 E-9 mbar(UHV)的氣壓要求
  • 支持150 °C時12小時的加熱周期
  • 1 Vpp或RS 422輸出信號
  • 多達100倍的細分信號
  • 最小測量步距僅50 nm
  • 運動速度達10 m/s(1 Vpp)

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