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莫特高純氣體過濾器可對(duì)低至0.0015μm的顆粒進(jìn)行9對(duì)數(shù)過濾,從而產(chǎn)生無顆粒氣體。為了大限度地提高氣體過濾效率、強(qiáng)度和可靠性,GasShield POU全金屬氣體過濾器是超高純(UHP)氣體輸送應(yīng)用的理想選擇。它們與大多數(shù)高純度電子級(jí)工藝氣體兼容。
不銹鋼過濾介質(zhì)
max工作壓力:3750 psig(258.5 barg)
惰性氣體的highest工作溫度:450°C
max壓差:1000磅/平方英寸(68.9巴)
五金件:316L SS
過濾介質(zhì):316L SS
潤濕硬件表面光潔度:5 Ra,電拋光
≥9 LRV(顆粒減少99.9999999%)。
根據(jù)SEMI F38-0699測試方法,確定最大穿透粒度為0.08μm
用于半導(dǎo)體、LED、光伏和MEMS設(shè)備連接的超高壓氣體棒。閥門歧管箱、氣體柜、工具隔離氣體箱、車載氣體輸送箱中的超高壓過濾或任何需要超高純度顆粒去除的工藝。
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