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用于激光故障注入的S-LMS顯微鏡站是集成電路安全評估的高精度平臺。它允許將激光點聚焦在芯片上并通過背面掃描樣品,以評估電子元件的安全級別。S-LMS顯微鏡允許注射、聚焦和掃描一個激光點至1米的點大小,同時用紅外攝像機從背面觀察樣品。
980 和/或 1064 nm 的單模激光
脈沖亞納秒到連續(xù)波
時間精度 <8 ps
頻率高達 250 MHz
>92% 透射率
同軸紅外視覺
可以由Python控制和驅(qū)動
光電發(fā)射選項
激光熱刺激選項
esDynamic軟件平臺
單模光纖激光器
|
PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
脈沖持續(xù)時間 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
峰值功率 |
高達3.2瓦 |
高達10瓦 |
波長 |
980納米;1064牛米 |
980納米;1064牛米 |
重復(fù)率 |
從單發(fā)到250兆赫 |
從單發(fā)到250兆赫 |
命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
光束質(zhì)量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機
Captor |
640x512 µm |
動態(tài)量程 |
140 dB |
接口 |
USB(包含軟件) |
電學
電壓 |
220 V/110 V |
電流 |
16 A |
自動位置調(diào)節(jié)系統(tǒng)
軸數(shù) |
3 |
行程范圍 |
52 mm |
分辨率 |
0.315 µm |
重復(fù)性 |
+/- 0.8 µm |
速度(max.) |
20 mm/s |
故障注入
光發(fā)射
熱刺激
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