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ALPhANOV單激光故障注入顯微鏡S-LMS

產(chǎn)品介紹

用于激光故障注入的S-LMS顯微鏡站是集成電路安全評估的高精度平臺。它允許將激光點聚焦在芯片上并通過背面掃描樣品,以評估電子元件的安全級別。S-LMS顯微鏡允許注射、聚焦和掃描一個激光點至1米的點大小,同時用紅外攝像機從背面觀察樣品。

性能特點

980 和/或 1064 nm 的單模激光

脈沖亞納秒到連續(xù)波

時間精度 <8 ps

頻率高達 250 MHz

>92% 透射率

同軸紅外視覺

可以由Python控制和驅(qū)動

可選功能與配件

光電發(fā)射選項

激光熱刺激選項

esDynamic軟件平臺

技術(shù)參數(shù)

單模光纖激光器

 

PDM+/PDM+ HP

PDM4+ and PDM4+ HP

脈沖持續(xù)時間

從1.5納秒到連續(xù)波

從1.5納秒到連續(xù)波

峰值功率

高達3.2瓦

高達10瓦

波長

980納米;1064牛米

980納米;1064牛米

重復(fù)率

從單發(fā)到250兆赫

從單發(fā)到250兆赫

命令接口

TTL/LVTTL /軟件& dlls

TTL/LVTTL /軟件& dlls

光束質(zhì)量

單模

單模

InGaAs 紅外相機

Captor

640x512 µm

動態(tài)量程

140 dB

接口

USB(包含軟件)

電學

電壓

220 V/110 V

電流

16 A

自動位置調(diào)節(jié)系統(tǒng)

軸數(shù)

3

行程范圍

52 mm

分辨率

0.315 µm

重復(fù)性

+/- 0.8 µm

速度(max.)

20 mm/s

 

產(chǎn)品應(yīng)用

故障注入

光發(fā)射

熱刺激


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