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自1989年以來,客戶一直依賴SP120系列的可靠性和性能。除了全焊接結(jié)構(gòu)外,該系列還配備了全不銹鋼傳感器。SP120系列采用了沃斯科的專有制造方法,消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的好的開關,精度高,公差小。
我們?yōu)榘雽w設備等高純度應用設計了這些開關。SP120系列不含任何彈性體或o型圈。所有開關都經(jīng)過氦泄漏測試,符合SEMI F1的要求,氦泄漏率≤1×10-9標準立方厘米/秒。
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臭氧系統(tǒng)
氣體分配系統(tǒng)
半導體設備
醫(yī)療設備
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