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WASCO壓力開關(guān)UC8

產(chǎn)品介紹

UC8 系列采用 Wasco 專有的制造方法和 EIgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結(jié)構(gòu)消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的選擇,精度高,公差小。我們設(shè)計(jì)的 UC8 系列適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境。UC8 系列的額定 95B2 應(yīng)用周期超過 2,000,000 次。UC8 系列可提供滿足或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選項(xiàng)。根據(jù) SEMI F1,所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達(dá)到≤ 1 x 10-9 std cc/sec。

性能特點(diǎn)

適用于下一代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境

額定 95B2 應(yīng)用周期超過 2,000,000 次

經(jīng)過氦氣泄漏測試

符合 SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn)

泄漏量≤1 x 10-9 std cc/sec

選型指南

UC8-A:激活點(diǎn)范圍:50 至 1500 Torr(abs壓力)

UC8-G:激活點(diǎn)范圍:2 至 20 PSIG 壓力表壓力

可選功能與配件

可提供符合或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選項(xiàng)

可提供其他激活范圍

可提供更高的壓力

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

激活點(diǎn)范圍:50 至 1500 Torr(abs壓力)

復(fù)位帶:40 Torr + 啟動點(diǎn)的 6 %(典型值)

激活點(diǎn)公差:± 15 Torr +2 %激活點(diǎn)(典型值)

耐壓:100 PSIG

爆破壓力:Min 1000 PSIG

潤濕元件

工藝接口:316L SS SEMI F20 UHP 兼容

隔膜:埃爾吉洛伊Elgiloy

內(nèi)表面處理:5 Ra

預(yù)期壽命:≥ 2,000,000 次 95B2(取決于應(yīng)用情況)

防護(hù)等級:IP 67(abs配置)

泄漏率:氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作溫度:-20至 60 ℃(-4至 140 °F)

非操作溫度:-40至 100 ℃(-40至 212 °F)

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

氣箱、IGS 配氣盤、配氣系統(tǒng)、閥組箱體、蝕刻和沉積系統(tǒng)


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