BILZ電子氣動位置控制EPPC

用于高度動態(tài)和振動敏感的機器和儀器的實時液位控制。

EPPC實時液位控制可實現(xiàn)+/-10µm的生產(chǎn)精度，并顯著減少偏轉(zhuǎn)和沉降時間，以響應(yīng)動態(tài)負載變化基于智能瀏覽器的用戶界面，用于設(shè)置、診斷和監(jiān)控。

電子氣動位置控制EPPC為高精度機器、高度動態(tài)和振動敏感的測量機器、顯微鏡以及測試和生產(chǎn)機器提供好的振動隔離。

EPPC可以與三到六個BiAir薄膜空氣彈簧控制組組合，以控制多達六個自由度。Bilz為系統(tǒng)設(shè)計提供各種不同尺寸的空氣彈簧。

電子氣動液位控制系統(tǒng)與BiAir薄膜空氣彈簧相結(jié)合，可實現(xiàn)位置精度，并減少動態(tài)負載變化時的偏轉(zhuǎn)和沉降時間。

• 位置精度（+/-10µm）
• 可單獨調(diào)節(jié)的系統(tǒng)參數(shù)（如阻尼）
• 響應(yīng)荷載變化的短撓度和沉降時間
• 每個自由度一個高性能伺服閥和一個位移傳感器
• 采用CAN總線技術(shù)的優(yōu)化連接系統(tǒng)
• 基于瀏覽器的智能用戶界面，用于設(shè)置、診斷和監(jiān)控，通過以太網(wǎng)連接，可進行遠程維護
• 操作員狀態(tài)顯示（例如準(zhǔn)備就緒、工作位置、動作完成、錯誤）
• 用于外部控制和監(jiān)控的數(shù)字I/O接口
• 高分辨率信號處理和伺服閥技術(shù)帶來的無噪聲控制
• 堅固可靠的空氣彈簧技術(shù)，可與Bilz BiAir®薄膜空氣彈簧結(jié)合使用
• 無干擾發(fā)熱、磁場波動或電磁執(zhí)行器的高功耗

• 典型系統(tǒng)負載：800 kg–120.000 kg
• 垂直固有頻率：1,2–2,5 Hz
• 水平固有頻率：2,2–2,8 Hz
• 控制類型：伺服氣動
• 適合潔凈室：是
• 通信接口：以太網(wǎng)、數(shù)字I/O
• 產(chǎn)地：德國

-傳感器分辨率：

• 位移測量系統(tǒng)：0.76µm
• 壓力傳感器：0.36毫巴
• 采樣率傳感器信號：1 kHz（過采樣后）

• 高精度機器
• 振動敏感和高度動態(tài)的測量機
• 顯微鏡
• 半導(dǎo)體行業(yè)的測試和生產(chǎn)機器