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ICHOR隔膜閥CDV

  • 品牌:ICHOR
  • 型號:CDV

產(chǎn)品介紹

常規(guī)隔膜閥(CDV)系列包括超高純版本,根據(jù)相關(guān)SEMI規(guī)范制造,具有更高的可靠性。

性能特點(diǎn)

  • 閥座設(shè)計和雙層隔膜可延長循環(huán)壽命并減少顆粒產(chǎn)生。
  • 完全清掃潤濕路徑,以減少截留,促進(jìn)吹掃,更大限度地提高Cv,同時更小化內(nèi)部體積。
  • 氣動執(zhí)行器可在執(zhí)行時快速響應(yīng)。
  • 手動和混合執(zhí)行器指示可視的四分之一圈打開和關(guān)閉位置。
  • 可根據(jù)要求提供自定義配置。

選型指南

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)

 

1、 閥體316L SST SEMI F20

2、 閥座PCTFE

3、 隔膜Elgiloy

4、 按鈕316L不銹鋼

5、 閥蓋303 SST

6、 螺母303 SST

7、 執(zhí)行機(jī)構(gòu)陽極氧化鋁

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

氣動工作壓力:真空至150 PSIG

¼手動工作壓力:真空至250 PSIG

混合工作壓力:真空至150 PSIG

防爆壓力:1.5 x工作壓力

爆裂壓力:4500 PSIG

表面粗糙度

標(biāo)準(zhǔn):≤16 Ra µ inch

高純度:6-10 Ra µ inch

超高純度:≤5 Ra µ inch

流量系數(shù):Cv=0.3

氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)驅(qū)動壓力:65-125 PSIG

卡套管集成接頭:1/8“-27 NPT 1/8”,M5氣動或1/8“

手動和混合執(zhí)行器:¼轉(zhuǎn)手動

內(nèi)側(cè)泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

外側(cè)泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

通過閥座的泄漏率:≤10-9 atm cc He/sec

溫度,閥座材料:

-40°F至150°F(-40°C至66°C),PCTFE

-40°F至300°F(40°C至150°C)、PEEK

-15°F至300°F(-10°C至150°C),PFA,VESPEL


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