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FormFactor 的 Cascade PM8 手動(dòng)探針系統(tǒng)旨在為高達(dá) 200 mm 的分析探測應(yīng)用提供高度穩(wěn)定、符合人體工程學(xué)和靈活的探測平臺,例如器件和晶圓表征、故障分析 (FA)、RF/mmW/sub-THz探測和 MEMS。創(chuàng)新的精細(xì)滑動(dòng)卡盤平臺提供大范圍粗動(dòng)和微米級微動(dòng),
簡化測量?;◢弾r板可以承受任何熱或機(jī)械影響,并確保完整的系統(tǒng)穩(wěn)定性。PM8 的堅(jiān)固結(jié)構(gòu)非常適合所有高達(dá)亞太赫茲范圍的射頻應(yīng)用,由 WinCal XE 校準(zhǔn)軟件支持,包括 LRRM、LRM+、NIST 風(fēng)格的 TRL 和混合校準(zhǔn)方法。
獨(dú)特的可移動(dòng)顯微鏡橋選件可輕松且符合人體工程學(xué)地對高達(dá) 200 毫米的觀察系統(tǒng)進(jìn)行粗調(diào)和微調(diào),從而使所有 FA 和檢測任務(wù)以及晶圓級可靠性 (WLR) 測試變得容易。PM8 可以使用各種附件進(jìn)行升級,例如用于 FA 應(yīng)用的激光切割機(jī)和遙控手動(dòng)定位器,以及用于校準(zhǔn)基板和拋光墊的特殊設(shè)計(jì)的卡盤,用于高頻應(yīng)用。探針卡可以很容易地用于測試,并且可以通過少的設(shè)置調(diào)整來測試封裝的部件。
高穩(wěn)定性花崗巖底座
X 軸和 Y 軸的獨(dú)立粗略移動(dòng),結(jié)合低至亞微米范圍的輕松微調(diào)
1 µm 可重復(fù)分離行程
高測量精度和可重復(fù)性
快速導(dǎo)航和高精度探頭定位
可針對 DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新配置
多種附件:熱卡盤、電動(dòng)顯微鏡和定位器、暗盒等
40 毫米壓板高度可調(diào)
升級路徑以滿足您未來的需求
晶圓和封裝測試之間的快速轉(zhuǎn)換
低調(diào)、簡單的設(shè)計(jì)
簡單且符合人體工程學(xué)的操作
正面或背面儀器,例如:積分球、光纖設(shè)置、壓力模塊
正面或背面探測能力
訪問被測設(shè)備 (DUT) 的頂部和底部
高精度光測量
PS-ACC-HDTV:
兼容 EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的 C 接口數(shù)字電視選項(xiàng)
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