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SIOS差分激光干涉儀SP 5000 DI

產(chǎn)品介紹

我們的超穩(wěn)定差分激光干涉儀SP 5000 DI具有獨特的熱穩(wěn)定性,因此是研發(fā)中長期測量的選擇,例如用于材料性能分析。

與標(biāo)準(zhǔn)干涉儀不同,在差分型中,參考光束從傳感器頭引出,并平行于測量光束。這一概念允許將傳感器放置在離實際測量位置更大的距離處,而不會顯著影響測量的分辨率或穩(wěn)定性。該干涉儀的長度分辨率在亞納米范圍內(nèi),并且由于微分原理,即使在正常的實驗室條件下,也可以在類似的測量或光束長度下實現(xiàn)。

如果使用傾斜不變反射器進行測量,則長度測量的測量范圍可以是幾米。干涉測量系統(tǒng)具有模塊化設(shè)計,并且因此可以適用于相應(yīng)的測量任務(wù)。

調(diào)整很簡單,特別是可以長期穩(wěn)定地實現(xiàn)。對基于SP 5000 DI干涉儀的干涉多軸系統(tǒng)的擴展允許同時進行多坐標(biāo)測量。

性能特點

  • 高精度的差動長度或角度測量
  • 通過差分測量更小化環(huán)境影響
  • 熱長期穩(wěn)定傳感器,溫度靈敏度<20 nm/K
  • 可以使用各種光學(xué)反射器,例如球面、平面反射鏡反射器
  • 測量反射鏡的大傾角不變性
  • 標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼傳感器頭設(shè)計
  • 光束距離:21毫米
  • 廣泛的觸發(fā)器選項
  • Windows和Linux下OEM軟件的開放接口

可選功能與配件

球反射器直徑15毫米

球形反射器單元

環(huán)境校正

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:德國

位移測量范圍:5 m

位移分辨率:5 pm

角度測量范圍

帶反射器:±12.5°

帶平面鏡(建議距離≤2m):±1.5弧分

光束距離(標(biāo)準(zhǔn)):21 mm

波長:632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性(預(yù)熱時間之后):2·10-8

HeNe激光器的預(yù)熱時間:10 ... 20 min

工作溫度范圍:15 ... 30°C

測量反射鏡的位移速度:max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長度:3 m,max.10 m

電源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸(長x寬x高)

傳感器頭(帶基板):150 x 140 x 43 mm

電子供應(yīng)和評估單元(標(biāo)準(zhǔn)):450 x 400 x 150 mm

電子供應(yīng)和評估單元(緊湊):250 x 400 x 150 mm

重量

感測頭:2.0 kg

底盤:1.5 kg

產(chǎn)品應(yīng)用

差分激光干涉儀可作為OEM版本提供,可作為編碼器安裝在機器軸上。對于真空測量,SP 5000 DI可作為真空優(yōu)化版本提供。

標(biāo)準(zhǔn)光束距離為21毫米。我們可根據(jù)要求提供其他光束距離。

規(guī)格參數(shù)

位移測量范圍:5 m

位移分辨率:5 pm

角度測量范圍

帶反射器:±12.5°

帶平面鏡(建議距離≤2m):±1.5弧分

光束距離(標(biāo)準(zhǔn)):21 mm

波長:632.8 nm

HeNe激光器的頻率穩(wěn)定性(預(yù)熱時間之后):2·10-8

HeNe激光器的預(yù)熱時間:10 ... 20 min

工作溫度范圍:15 ... 30°C

測量反射鏡的位移速度:max.3 m /s

傳感器頭和電子單元之間的電纜長度:3 m,max.10 m

電源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz

尺寸(長x寬x高)

傳感器頭(帶基板):150 x 140 x 43 mm

電子供應(yīng)和評估單元(標(biāo)準(zhǔn)):450 x 400 x 150 mm

電子供應(yīng)和評估單元(緊湊):250 x 400 x 150 mm

重量

感測頭:2.0 kg

底盤:1.5 kg


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