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用于校準(zhǔn)平行量塊的量塊測試站 EPP 使用激光干涉測量探頭 LM 20 作為上測量探頭。測量范圍為 20 mm,分辨率為 1 nm。Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig 確定了一個(gè)該探頭的量塊校準(zhǔn)的測量偏差小于 10 nm。根據(jù) PTB 的建議,對(duì)于 122 塊量塊組,所需的標(biāo)準(zhǔn)量塊數(shù)量可以減少到 15 個(gè)。量塊檢查裝置的線性誤差(未對(duì)準(zhǔn)、探頭未對(duì)準(zhǔn)、溫度影響)可以通過校準(zhǔn)程序確定和校正。量塊測試站的便捷操作以及測量值的校正、評(píng)估和輸出通過帶有“PEKAL”軟件(平行量塊校準(zhǔn))的PC進(jìn)行。
校準(zhǔn)一套 122 件套只需大約 15 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)件
由于重新校準(zhǔn)工作量低而節(jié)省成本
通過用戶指導(dǎo)的測量過程和少量標(biāo)準(zhǔn)量塊節(jié)省測量時(shí)間
可以校準(zhǔn)不尋常的標(biāo)稱尺寸和材料
整個(gè)測量范圍內(nèi)的高線性度
在整個(gè)測量范圍內(nèi)恒定的測針測量力
使用“PEKAL”評(píng)估軟件校正測試對(duì)象和常溫
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