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12.1 閘閥配備了 VATLOCK 技術(shù),該技術(shù)專門開發(fā)用于提供可靠的密封而沒有任何摩擦,從而避免了顆粒的產(chǎn)生。
12.1 系列已安裝在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應(yīng)用中,證明了其可靠性。它已成為壓力范圍高達 < 10-7 mbar 的真空隔離的標準解決方案,例如與渦輪分子泵有關(guān)。憑借堅固的設(shè)計和直接安裝選項,以及由于其分體式機身而減少且易于維護,12.1 系列輕松滿足所有標準要求。驅(qū)動、法蘭連接或附加真空端口的各種設(shè)計選項使其易于集成到任何真空應(yīng)用中。
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