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Entegris E2600 過(guò)濾器外殼用于化學(xué)凈化光刻曝光工具中使用的環(huán)境空氣。 E2600 過(guò)濾系統(tǒng)可保護(hù)曝光工具免受各種空氣分子污染物的影響。 E2600 過(guò)濾器外殼設(shè)計(jì)用于與 Entegris 化學(xué)空氣過(guò)濾器一起使用,以保護(hù)曝光工具中的化學(xué)放大抗蝕劑和暴露的光學(xué)表面。當(dāng)配備 Entegris 混合介質(zhì)化學(xué)空氣過(guò)濾器時(shí),E2600 過(guò)濾器外殼可提供先進(jìn)的保護(hù),防止空氣中的分子酸、堿和可冷凝有機(jī)化合物。在 E2600 內(nèi)部,專(zhuān)門(mén)的化學(xué)過(guò)濾器以多級(jí)串聯(lián)配置排列,以提供保護(hù),防止嚴(yán)重的污染事件,例如溶劑和顯影劑化學(xué)品的意外溢出。
去除酸、堿和可冷凝的有機(jī)物
內(nèi)部 HEPA 過(guò)濾器確保顆粒控制
用于性能監(jiān)控的堆棧間示例端口
占地面積小,節(jié)省潔凈室空間
剛性結(jié)構(gòu)確保可靠、無(wú)故障運(yùn)行
雙入口和出口過(guò)渡,用于簡(jiǎn)單、硬或靈活的管道連接
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