當(dāng)前所在位置: 首頁 > 產(chǎn)品首頁 > 分析儀器、實驗室設(shè)備 > 液體分析儀器 > 其他液體分析儀
InVue GV148 液體濃度監(jiān)測器可在不干擾或中斷過程的情況下,為化學(xué)品混合、加標(biāo)和稀釋提供實時過程流體濃度測量。GV148 液體濃度監(jiān)測儀集成在一個緊湊的高的純度封裝中,可提供經(jīng)濟的高性能濃度監(jiān)測,從而提高生產(chǎn)線前端 (FEOL)、生產(chǎn)線后端 (BEOL) 的工藝效率 ) 和子晶圓廠交付化學(xué)系統(tǒng)。 這種增加的過程可見性導(dǎo)致更嚴(yán)格的過程控制、更高的晶片產(chǎn)量、減少的化學(xué)品使用和減少的廢料。GV148 監(jiān)測儀采用經(jīng)過驗證的折射率技術(shù),封裝在緊湊的配置中,可提供準(zhǔn)確和可重復(fù)的液體濃度測量方法。 在線傳感器可準(zhǔn)確測量過程流體的折射率 (IoR) 和溫度。 然后使用該信息來計算過程流體濃度。
使用反射指數(shù)測量 CMP 漿料和非導(dǎo)電流體
帶有集成電子元件的小尺寸可大程度地減小工具尺寸
HMI 軟件支持實時數(shù)據(jù)記錄、分析和定制
窗戶清潔端口可輕松訪問藍(lán)寶石窗戶進行清潔
Copyright© 2013-2023 上海連航機電科技有限公司 版權(quán)所有
地址:上海市寶山區(qū)滬太路1866號諾誠M7創(chuàng)意園B區(qū)211
電話 (Tel.):400-135-1288 傳真 (Fax):400-135-1288 郵箱 (E-mail):info@linhorn.com
 
掃描微信二維碼關(guān)注我們