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V70S 系列矩形閘閥采用創(chuàng)新的雙氣缸設(shè)計(jì),與標(biāo)準(zhǔn) V74 系列相比,占地面積更小。該閥采用與 V74 相同的 L-Motion 機(jī)構(gòu),并具有可拆卸的頂蓋,便于閘門(mén)密封維護(hù)。
可定制尺寸
各種 O 型圈化合物(Kalrez、Chemraz 等)
等離子蝕刻、CVD、濺射沉積
太陽(yáng)能電池板的制造
半導(dǎo)體加工
LCD/平板工藝
所有其他集群真空系統(tǒng)
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