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KURT J LESKER矩形傳輸閥V70S Series

產(chǎn)品介紹

V70S 系列矩形閘閥采用創(chuàng)新的雙氣缸設(shè)計(jì),與標(biāo)準(zhǔn) V74 系列相比,占地面積更小。該閥采用與 V74 相同的 L-Motion 機(jī)構(gòu),并具有可拆卸的頂蓋,便于閘門(mén)密封維護(hù)。

性能特點(diǎn)

  • 可拆卸閥殼蓋
  • 半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用(Semi E21-94、Semi E24-92、Semi E21.1-1296)
  • L-motion 連桿和執(zhí)行器中無(wú)彈簧的雙換檔可實(shí)現(xiàn)更快、更平穩(wěn)的驅(qū)動(dòng),同時(shí)降低振動(dòng)
  • 閥蓋法蘭真空側(cè)的防塵密封,幾乎消除顆粒進(jìn)入波紋管
  • 機(jī)械鎖定,因此在閘門(mén)行程結(jié)束時(shí)閥門(mén)鎖定到位
  • 焊接波紋管執(zhí)行器密封
  • 閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有保持器,以防止螺栓在拆卸時(shí)脫落

可選功能與配件

可定制尺寸

各種 O 型圈化合物(Kalrez、Chemraz 等)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

等離子蝕刻、CVD、濺射沉積

太陽(yáng)能電池板的制造

半導(dǎo)體加工

LCD/平板工藝

所有其他集群真空系統(tǒng)


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