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XY 工作臺和帶有機(jī)械和空氣軸承的旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器的組合。集成大孔徑轉(zhuǎn)臺的龍門式笛卡爾機(jī)器人。中心孔徑在整個 XY 軸上保持打開。
XY載物臺BEMA-W45-OF-300x300
行程 (mm):從 300 x 300至 2,000 x 2,000
重復(fù)性:±100 µm
分辨率:25 µm
負(fù)載能力:10 kg
速度:1 m/sec(伺服/編碼器)
皮帶傳動節(jié)距:75 mm
電機(jī):步進(jìn)/伺服
旋轉(zhuǎn)臺RTLA-280-400
回轉(zhuǎn):無限制
重復(fù)性:45 arc-sec
分辨率:5 arc-sec
開口中心:280 mm
角速度:3 rpm
機(jī)械、比率:蝸輪、280:1
電機(jī):步進(jìn)/伺服
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