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INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

  • 品牌:INTELLIDRIVES
  • 型號(hào):XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

產(chǎn)品介紹

集成系統(tǒng)將線性或 XY 平臺(tái)與轉(zhuǎn)臺(tái)相結(jié)合,提供交鑰匙解決方案。 平臺(tái)可配備直接驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)或基于滾珠絲杠的機(jī)械裝置。

 

性能特點(diǎn)

開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中的晶圓處理和許多其他自動(dòng)化定位應(yīng)用。 位于單元側(cè)面的 XY 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和大型中心通孔轉(zhuǎn)臺(tái)提供了清晰通暢的晶圓訪問(wèn)。

技術(shù)參數(shù)

XY臺(tái):XY-OF-UL-200x200

旋轉(zhuǎn)臺(tái):ACR-160UT

電機(jī)類型:無(wú)刷伺服電機(jī)/編碼器(標(biāo)準(zhǔn))

直線伺服電機(jī)(選件)

XY行程:200 x 200 mm

中心孔徑:直徑160 mm

分辨率(線性):1 micron(注 1,2)

2.5 micron(注3)

分辨率(旋轉(zhuǎn)):1.4 arc-sec

重復(fù)性(線性):5 micron(注3)

1 micron(注 1,2)

重復(fù)性(旋轉(zhuǎn)): 2 arc-sec

速度:400mm/sec(注 3)

800mm/sec(注2)

負(fù)載重量: 30 kg

載物臺(tái)重量:16 kg

(注1)帶線性編碼器(可選)

(注2)直線伺服電機(jī)(可選)

(注 3)滾珠絲杠 10 mm 導(dǎo)程,無(wú)刷伺服驅(qū)動(dòng)

產(chǎn)品尺寸


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