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PETER WOLTERS拋光機(jī)AC microLine 1500

產(chǎn)品介紹

LAPMASTER WOLTERS 為需要準(zhǔn)確結(jié)果的半導(dǎo)體客戶提供可靠的晶圓拋光機(jī)。我們?yōu)榫A和基板的高精度表面技術(shù)提供量身定制的解決方案。例如在 Silicon Prime Wafer 和 LED 市場(chǎng)。硅、藍(lán)寶石、砷化鎵、碳化硅等用于制造微電子、微光學(xué)和微機(jī)械器件的材料。我們適用于各種直徑基材的研磨、研磨、機(jī)械和化學(xué)拋光機(jī)可提供準(zhǔn)確的工藝結(jié)果。LAPMASTER WOLTERS 是硅晶片拋光機(jī)的主要供應(yīng)商,可拋光直徑達(dá) 450 毫米。

性能特點(diǎn)

  • 快速、符合人體工程學(xué)的裝卸
  • 外擺式上工作盤,以良好方式進(jìn)入工作區(qū)域
  • 用戶友好、直觀的操作
  • 良好的加工效果和高的精度
  • 運(yùn)行成本低
  • 個(gè)性化流程開發(fā)
  • 低維護(hù)/友好

技術(shù)參數(shù)

  • 機(jī)器尺寸[高×寬×深] [mm]:2510×3560×2900
  • 不含控制柜的機(jī)器重量[kg]:8200
  • 最大工件高度[mm]:125
  • 最大工件直徑[mm]:500

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