美國(guó)布魯克斯Brooks Instruments熱質(zhì)量流量控制器GF135特征和優(yōu)勢(shì)
GF135系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器性能和智能。
型號(hào)GF135
保持對(duì)目標(biāo)的關(guān)鍵流程的流程和與GF135高級(jí)診斷壓力瞬變不敏感型（PTI）質(zhì)量流量控制器最大限度地提高吞吐量。世界上個(gè)“聰明”的質(zhì)量流量控制器是一個(gè)真正的游戲改變：它執(zhí)行率的衰減整體流量測(cè)量無需停止工藝氣體的流動(dòng)。它允許半導(dǎo)體制造商驗(yàn)證的過程氣體的精度，通過泄漏檢查閥和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)傳感器穩(wěn)定性而不從氣體管線除去流量控制器。與全金屬潤(rùn)濕流路相結(jié)合，超快速建立時(shí)間和業(yè)界先進(jìn)的工藝氣體的精確度，GF135 PTI MFC有能力改變的生產(chǎn)力和吞吐率為廣泛沉積工藝的潛力。

特征
每年<±0.5％滿量程長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性
超快速建立時(shí)間：<300毫秒 - <400毫秒
滿量程流速：3 SCCM至5 SLM
超高純度流動(dòng)路徑 - 4μ寸鐳表面光潔度
嵌入式實(shí)時(shí)流量錯(cuò)誤檢測(cè)和使用趨勢(shì)率的衰減（ROD）技術(shù)
增強(qiáng)工藝氣體的準(zhǔn)確性 - 高達(dá)三倍的改善 - 通過先進(jìn)的氣體通過模擬實(shí)際氣體測(cè)試優(yōu)化
第三代壓力瞬變不敏感（PTI）技術(shù)
能見度高，電子可旋轉(zhuǎn)的LCD顯示提供流量，溫度，壓力和網(wǎng)絡(luò)地址的本地指示
的DeviceNet?，RS-485和模擬接口
優(yōu)點(diǎn)
實(shí)時(shí)流錯(cuò)誤檢測(cè)可以更快地調(diào)整流量偏差和支持晶圓良率改善
傳感器穩(wěn)定跟蹤，支持預(yù)測(cè)性維護(hù)提高系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間
閥門泄漏通過跟蹤有助于最小化的晶片效應(yīng)
增強(qiáng)的過程氣體精確度10納米工藝符合化學(xué)氣體控制方面的挑戰(zhàn)
市場(chǎng)先進(jìn)的流量穩(wěn)定時(shí)間減少非生產(chǎn)性流穩(wěn)定措施，支持先進(jìn)的3D設(shè)備處理
加強(qiáng)壓力不敏感提供卓越的工藝氣體控制增強(qiáng)刻蝕和沉積控制
耐腐蝕的哈氏合金傳感器提供了無與倫比的長(zhǎng)期穩(wěn)定的傳感器確保最大的成品率和產(chǎn)量
下拉更換為表面貼裝和VCR微生物燃料電池是在現(xiàn)有系統(tǒng)中的關(guān)鍵氣體線輕松升級(jí)
應(yīng)用
安森美半導(dǎo)體先進(jìn)的蝕刻工具
美國(guó)Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計(jì)產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計(jì)和流量控制器為各種流量測(cè)量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗(yàn)，Brooks公司不斷推出各種流量計(jì)以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計(jì)和其他液位測(cè)量產(chǎn)品。
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